產品詳情
簡單介紹:
電子薄膜應力分布測試儀 型號:TRC-6341
該產品主要應用在微電子、光電子線上和科研、教學等領域Si、Ge、GaAs等半導體基片及電子薄膜應力分布、光學零件面形和平整度面形、 基片曲率
詳情介紹:
電子薄膜應力分布測試儀 型號:TRC-6341
該產品主要應用在微電子、光電子線上和科研、教學等領域Si、Ge、GaAs等半導體基片及電子薄膜應力分布、光學零件面形和平整度面形、 基片曲率
半徑測量測試。該儀器總測量點數多, 能給出全場面型分布結果, 適合于微電子線上產品質量的快速檢驗和微電子工藝研究。
儀器基于干涉計量的全場測試原理, 可實時觀測面型的分布, 迅速了解被測樣品的形貌及應力集中位置, 及時淘汰早期失效產品。![]() |
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≤100mm (4英寸) | |
|R|≥5米 | |
5% | |
3分鐘/片 | |
面形、曲率半徑、應力分布、公式表示、數據表格 | |
三維立體顯示、二維偽彩色顯示、單截面曲線顯示 | |
AC 220V±10%, 50Hz±5% | |
100W | |
285mm×680mm×450mm | |
36kg |
聯系人:王汝玄
聯系電話:18910554055 18910534055 18611444986
傳真號碼:010-68467699
移動電話:18611444986
郵政編號:100142
公司地址:北京市通州區興貿三街18號院
Email:tdcy17@126.com
公司網址:http://www.5117sell.com
QQ:1579845789
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