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產品詳情
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  • 產品名稱:四探針電阻率測試儀

  • 產品型號:KDY-1
  • 產品廠商:同德
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簡單介紹:
四探針電阻率測試儀是用來測量半導體材料(主要是硅單晶、鍺單晶、硅片)電阻率,以及擴散層、外延層、ITO導電箔膜、導電橡膠方塊電阻的測量儀器。它主要由電氣測量部份(簡稱:主機)、測試架及四探針頭組成。四探針電阻率測試儀
詳情介紹:


四探針電阻率測試儀/四探針電阻率儀/方阻測試儀/方阻儀/四探針電阻率測定儀  型號:TC-KDY-1
四探針電阻率/方阻測試儀(以下簡稱電阻率測試儀)是用來測量半導體材料(主要是硅單晶、鍺單晶、硅片)電阻率,以及擴散層、外延層、ITO導電箔膜、導電橡膠方塊電阻的測量儀器。它主要由電氣測量部份(簡稱:主機)、測試架及四探針頭組成。
本儀器的特點是主機配置雙數字表,在測量電阻率的同時,另一塊數字表(以萬分之幾的精度)適時監測全程的電流變化,免除了測量電流/測量電阻率的轉換,更及時掌控測量電流。主機還提供精度為0.05%的恒流源,使測量電流高度穩定。本機配有恒流源開關,在測量某些箔層材料時,可免除探針尖與被測材料之間接觸火花的發生,更好地保護箔膜。儀器配置了本公司的產品:“小游移四探針頭”,探針游移率在0.1~0.2%。保證了儀器測量電阻率的重復性和準確度。本機如加配HQ-710E數據處理器,測量硅片時可自動進行厚度、直徑、探針間距的修正,并計算、打印出硅片電阻率、徑向電阻率的大百分變化、平均百分變化、徑向電阻率不均習庋。給測量帶來很大方便。
2、主機技術能數
(1)測量范圍:
可測電阻率:0.0001~19000Ω?cm
可測方塊電阻:0.001~1900Ω?□
(2)恒流源:
輸出電流:DC 0.001~100mA 五檔連續可調
量程:0.001~0.01mA
0.01~0.10mA
0.10~1.0mA
1.0~10mA
10~100mA
恒流精度:各檔均低于±0.05%
(3)直流數字電壓表:
測量范圍:0~199.99mV
靈敏度:10μV
基本誤差:±(0.004%讀數+0.01%滿度)
輸出電源:≥1000ΩM
(4)供電電源:
AC 220V±10% 50/60 Hz 功率:12W
(5)使用環境:
溫度:23±2℃ 相對濕度:≤65%
無較強的電場干擾,無強光直接照射
(6)重量、體積:
主機重量:7.5kg
體積:365×380×160(單位:mm 長度×寬度×高度)

備注:
等級測量時(測電阻率),精度<3%
電氣測量時(測電阻),精度在0.3%以內 

備注:
儀器包括:主機一臺;測試架(包括臺面)一個;四探針頭1個






 

產品名稱:四探針方阻電阻率測試儀
產品型號: FT-331
四探針方阻電阻率測試儀型號:

一. 描述Description:
采用范德堡測量原理能解決樣品因幾何尺寸、邊界效應、探針不等距和機械游移等外部因素對測量結果的影響及誤差,提供通訊接口,PC軟件數據處理及數據分析.中文或英文語言版本.
二.參照標準standard:
硅片電阻率測量的標準(ASTM F84)及國家標準設計制造;GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測定方法》、GB/T 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流四探針法》.
三.適用范圍Applicable scope:
適用于生產企業、高等院校、科研部門,是檢驗和分析半導體材料質量的工具;液晶顯示,自動測量和系數補償,并帶有溫度補償功能,自動轉換量程;采用AD芯片控制,恒流輸出,選配:PC軟件,保存和打印數據,生成報表
用于:覆蓋膜;導電高分子膜,高、低溫電熱膜;隔熱、導電窗膜 導電(屏蔽)布、裝飾膜、裝飾紙;金屬化標簽、合金類箔膜;熔煉、燒結、濺射、涂覆、涂布層,電阻式、電容式觸屏薄膜;電極涂料,其他半導體材料、薄膜材料方阻測試等相關產品

四.型號及參數Models and technical parameters

規格型modelFT-331
1.方塊電阻范圍Sheet resistance 10-5~2×105Ω/□
2.電阻率范圍Resistivity 10-6~2×106Ω-cm
測試電流范圍
Test current 0.1μA ,1μA,10μA,100μA,1mA,10mA,100mA
4.電流精度 Current accura±0.1% 

5.電阻精度Resistance ≤0.3%
6.顯示讀數display液晶顯示:電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導率LCD: resistance. resistivity. sheet resistance. temperature. unit conversion.temperature coefficient. current. voltage. probe shape. probe spacing. thickness. conductivity 7.測試方式test mode普通單電測量general single electrical measurement
8.工作電源power輸入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗:<30W 
9.誤差errors≤4%(標準樣片結果 Standard Sample results)
10.選購功能choose to buy選購1.pc軟件; 選購2.方形探頭; 選購3.直線形探頭; 選購4.測試平臺;5.標準電阻
1.pc software; 2. square probe; 3. linear probe; 4. test Platform.
11.測試探頭Test probe探針間距選購:1mm;2mm;3mm三種規格; 探針材質選購:碳化鎢針;白鋼針;鍍金磷銅半球形針Optional probe spacing: 1mm;2mm;3mm in three sizes.
Select probe material: tungsten carbide needle. white steel needle. gilded copper hemispherical needles.


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